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【热门】滨州纳控石光学平台作用



作者:扑克王app官网    发布时间:2020-09-17 13:31


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  但是,并非所有人都不看好飞利浦的光刻项目,就在飞利浦碰壁之际,荷兰小公司ASMI(ASM International,直译为ASM国际)的老板Arthur Del Prado跑来,自荐要接下飞利浦的光刻项目。▲Arthur Del PradoASM International创立于1964年,是一家半导体设备代理商,对制造光刻机并无经验。因此,飞利浦犹豫了1年的时间。终,1984年,飞利浦选择“屈就”,同意与ASMI公司各自出资210万美元,合资成立阿斯麦,由这才开启了阿斯麦的故事。

  终于,2010年,阿斯麦出货了首台EUV光刻机。这台光刻机型号为NXE:3100,被交付给台积电,用于进行研发。从1997年到2010年,13年的艰难求索,终于让阿斯麦攻克了EUV的技术高地。辛勤付出终有回报,目前,阿斯麦仍是唯一掌握EUV光刻技术的厂商。▲阿斯麦的新EUV光刻机TWINSCAN NXE:3400C纳控真空电动平移台价格。

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